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193nm格蘭泰勒棱鏡
193nm格蘭泰勒棱鏡采用極紫晶體材料,通過空氣隙結構分離兩棱鏡,有效避免膠合材料在深紫外波段的吸收問題,在 193nm 波長下實現高透射率,同時保持優異的消光性能,其結構設計具備高激光損傷閾值,適用于 ArF 準分子激光光刻、深紫外激光加工等需要精確偏振控制的高精度應用場景。 特征: 空氣間隙 接近布魯斯特角切割 高偏振極化 深紫外透過
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