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193nm零級空氣隙波片

主頁 193nm深紫外偏振元件

193nm零級空氣隙波片

深紫外空氣隙波片
193nm零級空氣隙波片

193nm零級空氣隙波片,無膠合層,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性強,抗老化性能好,石英材料耐深紫外腐蝕,適合連續(xù)高功率激光運行,偏振控制穩(wěn)定。

 

特點:

空氣間隙

厚度:0.3~1.5mm

高延遲均勻性

高損傷閾值

  • 貨號 :

    WPA-193nm
  • 產(chǎn)品產(chǎn)地 :

    FuZhou
新產(chǎn)品

規(guī)格:

材料:
石英晶體
直徑公差:
+0.0, -0.1mm
波前畸變 :
λ/8 @ 632.8nm
延遲精度:
λ/50
單片平行度:
<1″
光潔度:
20/10
通光孔徑:
>80%
鍍膜:
不鍍膜或按要求定制鍍膜
標(biāo)準(zhǔn)波長:
193.368nm

產(chǎn)品型號:

半波片 P/N#
四分之一波片 P/N#
直徑(mm)
WPA-210-193
WPA-410-193
10.0
WPA-212-193
WPA-412-193
12.7
WPA-215-193
WPA-415-193
15.0
WPA-220-193
WPA-420-193
20.0
WPA-225-193
WPA-425-193
25.4
WPA-230-193
WPA-430-193
30.0
WPA-235-193
WPA-435-193
35.0
WPA-250-193
WPA-450-193
50.0

 

193nm零級空氣隙波片技術(shù)優(yōu)勢:

193nm零級空氣隙波片采用雙石英片空氣隙結(jié)構(gòu),大幅降低材料吸收損耗,在 ArF 準(zhǔn)分子激光等深紫外波段透過率優(yōu)異。空氣間隙設(shè)計規(guī)避膠合工藝熱應(yīng)力,耐受高功率激光長期運行,引入離子束精修工藝,實現(xiàn)納米級表面平整度,顯著減少散射損耗,優(yōu)化波前質(zhì)量,適配光刻等高精密偏振調(diào)控場景。

 

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