193nm少級波片是深紫外波段偏振器件，可精確調控入射光偏振態，適用于光刻、激光科研等深紫外光學系統，由耐193nm輻射的特殊材料制成，保障穩定性與精度。
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特征： 厚度：0.05-0.5mm 高損傷閾值 高延遲均勻性 |
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貨號 :
WPL產品產地 :
FuZhou規格：
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材料:
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石英晶體
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直徑公差：
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+0.0, -0.1mm
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波前畸變:
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λ/8 @ 632.8nm
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延遲精度:
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λ/50
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平行度:
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<1″
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光潔度:
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20/10
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通光孔徑:
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>90%
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鍍膜：
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不鍍膜或按要求定制鍍膜
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標準波長:
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193.368nm
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193nm少級波片:
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半波片 P/N#
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四分之一波片 P/N#
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直徑(mm)
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WPL-210-193
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WPL-410-193
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10.0
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WPL-212-193
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WPL-412-193
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12.7
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WPL-215-193
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WPL-415-193
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15.0
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WPL-220-193
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WPL-420-193
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20.0
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WPL-225-193
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WPL-425-193
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25.4
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WPL-230-193
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WPL-430-193
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30.0
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WPL-235-193
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WPL-435-193
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35.0
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WPL-250-193
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WPL-450-193
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50.0
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193nm少級波片的技術優勢：?
193nm少級波片通過優化專為深紫外波長的雙折射材料，并結合離子束精修工藝，實現了高幅度相位延遲，其核心優勢包括在 193nm 波長下相位誤差 <±1% 的高延遲精度 —— 離子束精修技術的應用大幅降低了材料光學厚度的微觀偏差，從而為準分子激光器等深紫外激光系統提供更精確的偏振控制。其緊湊結構無需復雜的級聯設計，非常適用于光刻系統中的集成深紫外光學模塊；較高的激光損傷閾值（>5 J/cm² @ 193nm）確保了其在高功率深紫外應用中的可靠性，而離子束精修形成的超光滑表面進一步減少了高能激光照射下的局部能量聚集風險。在深紫外光譜偏振測量系統中，經離子束精修保障的穩定相位延遲使偏振度測量誤差控制在 2% 以內，為光刻膠表征、大氣臭氧層光譜分析等場景的高精度偏振分析提供了便利。
193nm格蘭泰勒棱鏡采用極紫晶體材料，通過空氣隙結構分離兩棱鏡，有效避免膠合材料在深紫外波段的吸收問題，在 193nm 波長下實現高透射率，同時保持優異的消光性能，其結構設計具備高激光損傷閾值，適用于 ArF 準分子激光光刻、深紫外激光加工等需要精確偏振控制的高精度應用場景。 特征: 空氣間隙 接近布魯斯特角切割 高偏振極化 深紫外透過
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193nm格蘭激光棱鏡選用高光學均勻性極紫晶體，減少光傳播中的散射畸變。窄波段內偏振穩定，精密封裝降低光路偏差，適配深紫外激光檢測等高精密場景。 特征: 空氣間隙 接近布魯斯特角切割 高偏振極化 裝配有逃逸窗口 適合高功率應用
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洛匈棱鏡 類似沃拉斯頓偏振器，將入射光束分離為尋常光線和非尋常光線，但非尋常光線直線透過，而尋常光線則以一定偏角透過。 特征： 光路無膠 高極化純度 適用于中低功率應用
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193nm零級空氣隙波片，無膠合層，結構穩定性強，抗老化性能好，石英材料耐深紫外腐蝕，適合連續高功率激光運行，偏振控制穩定。 特點: 空氣間隙 厚度：0.3~1.5mm 高延遲均勻性 高損傷閾值
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VUV激光定制偏振片系列工作波長為193.368nm，覆蓋160-250nm波長范圍。該系列產品包括VUV薄晶體偏振片、洛雄偏振片、格蘭偏振片、VUV廣角波片等。這些產品適用于各種激光應用場景，憑借其高精度和高可靠性，為真空紫外激光領域提供專業的偏振解決方案。無論是科研還是工業應用，都能滿足客戶對光學元件的嚴苛要求。有需求的客戶歡迎聯系我們。
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